（1）装炉
     清洗工件同气体氮化，但最好擦干或凉干再装入炉内，以节省打弧时间。工件应均匀装入炉内，工件之间，阴阳极之间必须间隔30mm以上，以免工件之间，两极之间电流密度过大而致工件局部温度过高。做好防渗，凡小于2mm的孔，缝隙必须屏蔽，试样放置在能与工件温度保持一致的位置上。
     在离子氮化中经常发生两种异常辉光发射，有场致发射和电子发射，场致发射即为工件或气隙存在小孔或小缝隙，或因油质溶化引起辉光集中，导致电流加大产生定点弧光，生成类似于电焊的效果，使工作无法进行。电子发射即为工件存在尖角或工件摆放不当，如两件之间、阴阳极之间等距离太近，这些地方电流密度较大，当工作时如所给电流太大，则这些位置温度迅速升高，电流密集于此处，也产生定点弧光，使工作无法进行。
（2）升温及保温
     首先关闭通气阀，给真空泵及水冷电阻通冷却水。启动真空泵，打开蝶形阀，当真空度＜100Pa时，即可送高压，缓慢进给占空比。当高压到达800V时，炉内即可产生辉光放电。此时正常状态为炉内跳跃飞逐的散弧，随着飞弧的减少，逐渐加大占空比，当飞弧消失即向炉内缓慢充入氨气，并关小真空泵蝶形阀，使炉内气体流通率下降，以保证炉内温度均匀，并随温度的升高，视所需氨量的变化逐渐加大供氨量。当感觉炉体温度保持在50℃以下，并开始观测炉内温度，观测时应首先停止电流供给，灭掉辉光。正常工件在渗氮时应为500～550℃间，此时在观察孔可见工件为暗红色，模糊可见工件轮廓，不能分辨部位，如齿轮不能看清齿形。如清晰看清工件，则工件温度即为偏高，当工件到温后，即调整修正供氨量、抽气率、电流，使之保持平衡。在工作中观察他们的变化，尤其是氨量与抽气率之间保持一种平衡状态，因为在高压不变的状态下，气体密度决定了电流的大小，因而影响温度。
（3）降温
     保温到预定时间后，开始向炉体内大量给冷却水，当炉体完全冷却后，即关闭蝶阀，停真空泵，停高压，并向炉内大量供氨，待炉内充满氨气，即将氨气供给降为微量，保持正压。待炉内温度降到180℃以下时，停氨气，停冷却水，重新启动真空泵。抽至完全真空后，停真空泵，打开通气阀，待炉内恢复常压后吊开炉盖交检工件。